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安集微电子申请提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液专利,显著提升TEOS的抛光速率:抛光
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金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种用于提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液及其用途”的专利,公开号CN120230477A,申请
2025-08-15
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