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安集微电子申请提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液专利,显著提升TEOS的抛光速率:抛光

金融界2025年7月2日消息,国家知识产权局信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种用于提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液及其用途”的专利,公开号CN120230477A,申请日期为2023年12月抛光

专利摘要显示,本发明提供了一种用于提高TEOS抛光速率的化学机械抛光液,包括:含氮杂环共轭化合物、带有负电荷(Zeta<?30mV)的氧化铈颗粒抛光 。采用了上述技术方案后,化学机械抛光液能够显著提升TEOS的抛光速率,此外还能达到简化抛光后的清洗工艺,提高产品良率和产率,降低生产成本的效果。

天眼查资料显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司,成立于2006年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业抛光 。企业注册资本12921.3274万人民币。通过天眼查大数据分析,安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目30次,专利信息234条,此外企业还拥有行政许可87个。

来源:金融界

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